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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第870位 33件
(2013年:第1304位 22件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第1347位 19件
(2013年:第2688位 7件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5646559 | リソグラフィシステム | 2014年12月24日 | |
特許 5631943 | リソグラフィシステム | 2014年11月26日 | |
特許 5628808 | 荷電粒子ビームリソグラフィシステム及びターゲット位置決め装置 | 2014年11月19日 | |
特許 5619760 | リソグラフィシステムのビームの同時測定 | 2014年11月 5日 | |
特許 5619629 | 投影レンズ構成体 | 2014年11月 5日 | |
特許 5607145 | 静電偏向器を具備する荷電粒子光学システム | 2014年10月15日 | |
特許 5599889 | 高電圧遮蔽配置 | 2014年10月 1日 | |
特許 5599899 | 差動ペアを備えた静電容量感知システム | 2014年10月 1日 | |
特許 5596058 | 基板支持構造体、クランプ調整ユニット及び、リソグラフィシステム | 2014年 9月24日 | |
特許 5587299 | 結像システム | 2014年 9月10日 | |
特許 5559359 | 統合されたセンサシステム | 2014年 7月23日 | |
特許 5539406 | リソグラフィマシン及び基板処理構成体 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5539468 | 荷電粒子ビームリソグラフィシステム及びターゲット位置決め装置 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5528796 | リソグラフィシステムおよび投影方法 | 2014年 6月25日 | |
特許 5475155 | 投影レンズ構成体 | 2014年 4月16日 |
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5646559 5631943 5628808 5619760 5619629 5607145 5599889 5599899 5596058 5587299 5559359 5539406 5539468 5528796 5475155
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