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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

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  2014年 出願公開件数ランキング    第870位 33件 上昇2013年:第1304位 22件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1347位 19件 上昇2013年:第2688位 7件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5646559 リソグラフィシステム 2014年12月24日
特許 5631943 リソグラフィシステム 2014年11月26日
特許 5628808 荷電粒子ビームリソグラフィシステム及びターゲット位置決め装置 2014年11月19日
特許 5619760 リソグラフィシステムのビームの同時測定 2014年11月 5日
特許 5619629 投影レンズ構成体 2014年11月 5日
特許 5607145 静電偏向器を具備する荷電粒子光学システム 2014年10月15日
特許 5599889 高電圧遮蔽配置 2014年10月 1日
特許 5599899 差動ペアを備えた静電容量感知システム 2014年10月 1日
特許 5596058 基板支持構造体、クランプ調整ユニット及び、リソグラフィシステム 2014年 9月24日
特許 5587299 結像システム 2014年 9月10日
特許 5559359 統合されたセンサシステム 2014年 7月23日
特許 5539406 リソグラフィマシン及び基板処理構成体 2014年 7月 2日
特許 5539468 荷電粒子ビームリソグラフィシステム及びターゲット位置決め装置 2014年 7月 2日
特許 5528796 リソグラフィシステムおよび投影方法 2014年 6月25日
特許 5475155 投影レンズ構成体 2014年 4月16日

19 件中 1-15 件を表示

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5646559 5631943 5628808 5619760 5619629 5607145 5599889 5599899 5596058 5587299 5559359 5539406 5539468 5528796 5475155

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