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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1304位 22件 上昇2012年:第1343位 19件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第2688位 7件 上昇2012年:第3300位 5件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5372928 リソグラフィシステム、クランプ方法及びウェーハテーブル 2013年12月18日
特許 5340930 マルチビーム荷電粒子光学システム 2013年11月13日
特許 5268170 投影レンズ構成体 2013年 8月21日
特許 5199097 リソグラフィシステム、センサ、測定方法 2013年 5月15日
特許 5134032 リソグラフィシステム 2013年 1月30日
特許 5118034 マスクレスリソグラフィシステムの信頼性の改良 2013年 1月16日
特許 5112617 リソグラフィシステム 2013年 1月 9日

7 件中 1-7 件を表示

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5372928 5340930 5268170 5199097 5134032 5118034 5112617

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