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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

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  2012年 出願公開件数ランキング    第1343位 19件 上昇2011年:第2749位 7件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第3300位 5件 上昇2011年:第5986位 2件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-238902 リソグラフィシステム 2012年12月 6日
特開 2012-238900 リソグラフィシステム 2012年12月 6日
特開 2012-238901 リソグラフィシステム 2012年12月 6日
特開 2012-238899 リソグラフィシステム 2012年12月 6日
特表 2012-527764 リソグラフ処理のための2レベルパターンを発生する方法およびその方法を使用するパターン発生器 2012年11月 8日
特表 2012-527765 リソグラフシステムのためのパターンデータ変換 2012年11月 8日
特表 2012-527766 デュアルパス走査 2012年11月 8日
特表 2012-525698 静電偏向器を具備する荷電粒子光学システム 2012年10月22日
特表 2012-518897 荷電粒子リソグラフィ装置 2012年 8月16日
特表 2012-518878 真空チャンバー内の真空を実現する方法および設備 2012年 8月16日
特表 2012-518900 基板支持構造体、クランプ調整ユニット及び、リソグラフィシステム 2012年 8月16日
特表 2012-518898 荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法 2012年 8月16日
特表 2012-518899 基板とクランプ準備ユニットをクランプする方法 2012年 8月16日
特表 2012-518901 リソグラフィ機械装置のための準備ユニット 2012年 8月16日
特表 2012-518902 リソグラフィマシン及び基板処理構成体 2012年 8月16日

19 件中 1-15 件を表示

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2012-238902 2012-238900 2012-238901 2012-238899 2012-527764 2012-527765 2012-527766 2012-525698 2012-518897 2012-518878 2012-518900 2012-518898 2012-518899 2012-518901 2012-518902

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