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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1771位 13件 (2015年:第1851位 12件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1043位 21件 (2015年:第976位 21件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6049627 | 中間チャンバを備えた荷電粒子リソグラフィシステム | 2016年12月21日 | |
特許 6042410 | リソグラフィ機クラスタのためのネットワークアーキテクチャ | 2016年12月14日 | |
特許 6038882 | 光ファイバの構成体及びこのような構成体を形成する方法 | 2016年12月 7日 | |
特許 6033869 | リソグラフィシステムのための支持モジュール | 2016年11月30日 | |
特許 6022576 | 二つ以上のモジュールの整列スタックを提供するためのアッセンブリーおよびそのようなアッセンブリーを備えているリソグラフィシステムまたは顕微鏡法システム | 2016年11月 9日 | |
特許 6022717 | 多電極電子光学系 | 2016年11月 9日 | |
特許 5996674 | ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法 | 2016年 9月21日 | |
特許 5985605 | 微分干渉計モジュールを備えたリソグラフィシステム | 2016年 9月 6日 | |
特許 5973061 | 荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム及び冷却装置製造方法 | 2016年 8月23日 | |
特許 5955964 | ターゲット処理ツールのためのガイダンス | 2016年 7月20日 | |
特許 5951753 | リソグラフィ機のクラスタのためのネットワークアーキテクチャおよびプロトコル | 2016年 7月13日 | |
特許 5932023 | ターゲットの少なくとも一部を処理するためのリソグラフィシステム | 2016年 6月 8日 | |
特許 5932185 | 多電極積層構成体 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5917665 | 静電容量感知システム | 2016年 5月18日 | |
特許 5911959 | ウェーハテーブル用支持構造体 | 2016年 4月27日 |
21 件中 1-15 件を表示
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6049627 6042410 6038882 6033869 6022576 6022717 5996674 5985605 5973061 5955964 5951753 5932023 5932185 5917665 5911959
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