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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．

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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6049627	中間チャンバを備えた荷電粒子リソグラフィシステム	2016年12月21日
特許 6042410	リソグラフィ機クラスタのためのネットワークアーキテクチャ	2016年12月14日
特許 6038882	光ファイバの構成体及びこのような構成体を形成する方法	2016年12月 7日
特許 6033869	リソグラフィシステムのための支持モジュール	2016年11月30日
特許 6022576	二つ以上のモジュールの整列スタックを提供するためのアッセンブリーおよびそのようなアッセンブリーを備えているリソグラフィシステムまたは顕微鏡法システム	2016年11月 9日
特許 6022717	多電極電子光学系	2016年11月 9日
特許 5996674	ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法	2016年 9月21日
特許 5985605	微分干渉計モジュールを備えたリソグラフィシステム	2016年 9月 6日
特許 5973061	荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム及び冷却装置製造方法	2016年 8月23日
特許 5955964	ターゲット処理ツールのためのガイダンス	2016年 7月20日
特許 5951753	リソグラフィ機のクラスタのためのネットワークアーキテクチャおよびプロトコル	2016年 7月13日
特許 5932023	ターゲットの少なくとも一部を処理するためのリソグラフィシステム	2016年 6月 8日
特許 5932185	多電極積層構成体	2016年 6月 8日
特許 5917665	静電容量感知システム	2016年 5月18日
特許 5911959	ウェーハテーブル用支持構造体	2016年 4月27日

21 件中 1-15 件を表示

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6049627 6042410 6038882 6033869 6022576 6022717 5996674 5985605 5973061 5955964 5951753 5932023 5932185 5917665 5911959

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