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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．

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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5805851	リソグラフィシステムにおいて基板を処理する方法	2015年11月10日
特許 5805868	ターゲットの位置データを格納するためのリソグラフィシステムおよび方法	2015年11月10日
特許 5801288	リソグラフ処理のための２レベルパターンを発生する方法およびその方法を使用するパターン発生器	2015年10月28日
特許 5801289	リソグラフシステムのためのパターンデータ変換	2015年10月28日
特許 5787331	リソグラフィシステムにおいて基板を搬送するための装置	2015年 9月30日
特許 5788416	基板支持構造及び基板支持構造と基板支持構造の表面上にクランプされている基板との組み合わせ	2015年 9月30日
特許 5781523	荷電粒子マルチビームレットリソグラフィシステム、変調デバイスおよびその製造方法	2015年 9月24日
特許 5781541	露光方法	2015年 9月24日
特許 5784630	静電容量感知システム	2015年 9月24日
特許 5766758	リソグラフィシステム、クランプ方法及びウェーハテーブル	2015年 8月19日
特許 5762981	荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法	2015年 8月12日
特許 5762982	基板とクランプ準備ユニットをクランプする方法	2015年 8月12日
特許 5746208	支持および位置決め構造体、半導体設備システムおよび位置決めのための方法	2015年 7月 8日
特許 5743886	ターゲットを露光するための方法およびシステム	2015年 7月 1日
特許 5738973	リソグラフィーシステム、センサ、コンバータ素子、および、製造方法	2015年 6月24日

21 件中 1-15 件を表示

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5805851 5805868 5801288 5801289 5787331 5788416 5781523 5781541 5784630 5766758 5762981 5762982 5746208 5743886 5738973

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