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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第2239位 9件
(2017年:第1706位 15件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1700位 10件
(2017年:第1119位 18件)
(ランキング更新日:2025年3月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6430606 | 荷電粒子ビーム発生器の高電圧シールド及び冷却 | 2018年11月28日 | |
特許 6393759 | センサアセンブリを備えた荷電粒子リソグラフィシステム | 2018年 9月19日 | |
特許 6377724 | ビームグリッドレイアウト | 2018年 8月22日 | |
特許 6367209 | リソグラフィシステムにおいて基板の位置を測定すること | 2018年 8月 1日 | |
特許 6367430 | リソグラフィシステムのモジュールを垂直方向にリフトするためのアセンブリ及び方法、並びにこのようなアセンブリを有するリソグラフィシステム | 2018年 8月 1日 | |
特許 6345731 | 多電極積層構成体 | 2018年 6月20日 | |
特許 6337089 | 電子機器用キャビネット | 2018年 6月 6日 | |
特許 6339247 | 一つ以上の荷電粒子ビームのマニピュレーションのためのマニピュレーターデバイスを備えている荷電粒子システム | 2018年 6月 6日 | |
特許 6339262 | 露光ツール用干渉計モジュールのアライメント | 2018年 6月 6日 | |
特許 6325061 | リソグラフィ装置のためのデータパス | 2018年 5月16日 |
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6430606 6393759 6377724 6367209 6367430 6345731 6337089 6339247 6339262 6325061
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3月21日(金) -
3月21日(金) -
3月21日(金) - 石川 金沢市
3月21日(金) -
3月24日(月) -
3月25日(火) - 東京 品川区
3月25日(火) -
3月26日(水) - 東京 港区
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月24日(月) -
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