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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．

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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6239596	荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器	2017年11月29日
特許 6239595	マルチ小ビーム露光装置において小ビーム位置を測定するための方法及び２つの小ビーム間の距離を測定するための方法	2017年11月29日
特許 6239583	ラジカルを輸送するための装置および方法	2017年11月29日
特許 6224252	標的処理ユニット	2017年11月 1日
特許 6219374	荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器	2017年10月25日
特許 6219320	ウェーハなどのターゲットを処理するためのリソグラフィシステム及び方法	2017年10月25日
特許 6208371	陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム	2017年10月 4日
特許 6189303	基板処理装置	2017年 8月30日
特許 6181189	多軸微分干渉計	2017年 8月16日
特許 6174128	変調デバイスおよび電力供給装置	2017年 8月 2日
特許 6158091	リソグラフィシステム及びこのようなリソグラフィシステムで基板を処理する方法	2017年 7月 5日
特許 6141276	荷電粒子マルチ小ビーム装置	2017年 6月 7日
特許 6133212	アパーチャアレイ冷却部を備えた荷電粒子リソグラフィシステム	2017年 5月24日
特許 6125562	デュアルパス走査	2017年 5月10日
特許 6117149	荷電粒子ビームリソグラフィシステム及びターゲット位置決め装置	2017年 4月19日

18 件中 1-15 件を表示

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6239596 6239595 6239583 6224252 6219374 6219320 6208371 6189303 6181189 6174128 6158091 6141276 6133212 6125562 6117149

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