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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第1851位 12件
(
2014年:第870位 33件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第976位 21件
(
2014年:第1347位 19件)
(ランキング更新日:2026年3月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2015-530587 | 多軸微分干渉計 | 2015年10月15日 | |
| 特開 2015-181179 | デュアルパス走査 | 2015年10月15日 | |
| 特表 2015-521385 | 荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム及び冷却装置製造方法 | 2015年 7月27日 | |
| 特表 2015-518268 | ラジカルを輸送するための装置および方法 | 2015年 6月25日 | |
| 特表 2015-517734 | マルチ小ビーム露光装置において小ビーム位置を測定するための方法及び2つの小ビーム間の距離を測定するための方法 | 2015年 6月22日 | |
| 特表 2015-517735 | 荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器 | 2015年 6月22日 | |
| 特表 2015-516689 | 変調デバイスおよび電力供給装置 | 2015年 6月11日 | |
| 特表 2015-516690 | 荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器 | 2015年 6月11日 | |
| 特表 2015-513219 | ウェーハなどのターゲットを処理するためのリソグラフィシステム及び方法 | 2015年 4月30日 | |
| 特開 2015-79979 | 静電容量感知システム | 2015年 4月23日 | |
| 特表 2015-510690 | ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法 | 2015年 4月 9日 | |
| 特表 2015-509666 | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム | 2015年 3月30日 |
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2015-530587 2015-181179 2015-521385 2015-518268 2015-517734 2015-517735 2015-516689 2015-516690 2015-513219 2015-79979 2015-510690 2015-509666
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