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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

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  2015年 出願公開件数ランキング    第1851位 12件 下降2014年:第870位 33件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第976位 21件 上昇2014年:第1347位 19件)

(ランキング更新日:2024年11月11日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2015-530587 多軸微分干渉計 2015年10月15日
特開 2015-181179 デュアルパス走査 2015年10月15日
特表 2015-521385 荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム及び冷却装置製造方法 2015年 7月27日
特表 2015-518268 ラジカルを輸送するための装置および方法 2015年 6月25日
特表 2015-517734 マルチ小ビーム露光装置において小ビーム位置を測定するための方法及び2つの小ビーム間の距離を測定するための方法 2015年 6月22日
特表 2015-517735 荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器 2015年 6月22日
特表 2015-516689 変調デバイスおよび電力供給装置 2015年 6月11日
特表 2015-516690 荷電粒子リソグラフィシステムおよびビーム発生器 2015年 6月11日
特表 2015-513219 ウェーハなどのターゲットを処理するためのリソグラフィシステム及び方法 2015年 4月30日
特開 2015-79979 静電容量感知システム 2015年 4月23日
特表 2015-510690 ナイフエッジを使用したウェーハレベルでのスポットサイズ測定のための装置、及びこのような装置を製造するための方法 2015年 4月 9日
特表 2015-509666 アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム 2015年 3月30日

12 件中 1-12 件を表示

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2015-530587 2015-181179 2015-521385 2015-518268 2015-517734 2015-517735 2015-516689 2015-516690 2015-513219 2015-79979 2015-510690 2015-509666

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