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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．

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マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2013-546180	変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム	2013年12月26日
特表 2013-545309	リソグラフィ装置のためのデータパス	2013年12月19日
特表 2013-544030	アパーチャアレイ冷却部を備えた荷電粒子リソグラフィシステム	2013年12月 9日
特表 2013-544031	中間チャンバを備えた荷電粒子リソグラフィシステム	2013年12月 9日
特表 2013-543254	基礎上に配置されるリソグラフィシステム、及び基礎上にリソグラフィシステムを配置する方法	2013年11月28日
特開 2013-140997	投影レンズ構成体	2013年 7月18日
特開 2013-140998	小ビームブランカ構成体	2013年 7月18日
特表 2013-522923	リソグラフィーシステム、センサ、コンバータ素子、および、製造方法	2013年 6月13日
特表 2013-520024	基板支持構造，クランプ準備ユニット，そしてリソグラフィーシステム	2013年 5月30日
特表 2013-518408	レンズが回動するリソグラフイシステム	2013年 5月20日
特表 2013-516752	統合されたセンサシステム	2013年 5月13日
特表 2013-516602	差動ペアを備えた静電容量感知システム	2013年 5月13日
特表 2013-516601	静電容量感知システム	2013年 5月13日
特表 2013-516753	露光方法	2013年 5月13日
特表 2013-514657	支持および位置決め構造体、半導体設備システムおよび位置決めのための方法	2013年 4月25日

22 件中 1-15 件を表示

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2013-546180 2013-545309 2013-544030 2013-544031 2013-543254 2013-140997 2013-140998 2013-522923 2013-520024 2013-518408 2013-516752 2013-516602 2013-516601 2013-516753 2013-514657

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