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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第2239位 9件
(
2017年:第1706位 15件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1700位 10件
(
2017年:第1119位 18件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2018-152580 | 電子機器用キャビネット | 2018年 9月27日 | |
| 特開 2018-74133 | 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作すること | 2018年 5月10日 | |
| 特開 2018-66894 | 基板支持ユニット上に基板を位置合わせする方法および装置 | 2018年 4月26日 | |
| 特開 2018-61048 | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム | 2018年 4月12日 | |
| 特開 2018-50061 | ラジカルを輸送するための装置および方法 | 2018年 3月29日 | |
| 特開 2018-41950 | 荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム | 2018年 3月15日 | |
| 特開 2018-41951 | シリアルナンバーを有するセキュアチップ | 2018年 3月15日 | |
| 特開 2018-41964 | 荷電粒子ビーム発生器の高電圧シールド及び冷却 | 2018年 3月15日 | |
| 特開 2018-32861 | 陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム | 2018年 3月 1日 |
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2018-152580 2018-74133 2018-66894 2018-61048 2018-50061 2018-41950 2018-41951 2018-41964 2018-32861
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