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アイクストロン、エスイー

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  2014年 特許取得件数ランキング    第3032位 6件 下降2013年:第2688位 7件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5619164 CVD方法およびCVD反応炉 2014年11月 5日
特許 5613680 円筒状のガス入口部品を有するMOCVD反応装置 2014年10月29日
特許 5536072 堆積装置、基板支持体およびシャドーマスク 2014年 7月 2日
特許 5492196 低圧ガス相の中で薄膜ポリマーを堆積させるための堆積方法 2014年 5月14日
特許 5444214 CVD反応装置における基板の表面温度の温度制御のための装置 2014年 3月19日
特許 5380308 改善された処理能力のための新規なプラズマシステムおよびプラズマ処理方法 2014年 1月 8日

6 件中 1-6 件を表示

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5619164 5613680 5536072 5492196 5444214 5380308

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