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アイクストロン、エスイー

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  2019年 特許取得件数ランキング    第1440位 12件 上昇2018年:第5366位 2件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6606547 複数の液体または固体の原材料からCVDまたはPVD装置のために蒸気を生成する蒸気発生装置および蒸気発生方法 2019年11月13日
特許 6602378 大面積基板コーティング用CVD又はPVD反応炉 2019年11月 6日
特許 6595493 振動体センサによって蒸気の濃度を決定するための装置および方法 2019年10月23日
特許 6576961 CVD反応炉におけるコーティングされた平坦部品 2019年 9月18日
特許 6574593 CVDリアクタにおける排ガス洗浄装置および方法 2019年 9月11日
特許 6566628 炭素からなるナノ構造の製造装置および方法 2019年 8月28日
特許 6524104 重量の削減されたガス排出プレートを備えたCVD反応炉のガス注入素子 2019年 6月 5日
特許 6510552 2つの互いに反対向きの主面上に各基板を搭載する基板キャリア 2019年 5月 8日
特許 6463339 後続の多段洗浄ステップを伴うMOCVD層成長方法 2019年 1月30日
特許 6457718 CVDリアクタ用ガス分配器 2019年 1月23日
特許 6449784 粒子分離器を有するCVDシステム 2019年 1月16日
特許 6448288 プロセスチャンバ内におけるサセプタの回転位置の決定装置および方法 2019年 1月 9日

12 件中 1-12 件を表示

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6606547 6602378 6595493 6576961 6574593 6566628 6524104 6510552 6463339 6457718 6449784 6448288

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