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アイクストロン、エスイー

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  2020年 出願公開件数ランキング    第3088位 6件 上昇2019年:第3170位 6件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1550位 11件 下降2019年:第1440位 12件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6796380 III−V族半導体層の堆積方法及び堆積装置 2020年12月 9日
特許 6796491 CVD又はPVDコーティング装置にプロセスガス混合物を供給するための装置及び方法 2020年12月 9日
特許 6777381 CVD装置またはPVD装置用固体または液体出発物質からの蒸気発生装置 2020年10月28日
特許 6752199 CVDまたはPVD装置のための蒸気発生装置および蒸気発生方法 2020年 9月 9日
特許 6754365 大面積基板コーティング装置 2020年 9月 9日
特許 6712592 基板上に層を堆積するための装置 2020年 6月24日
特許 6688290 複数箇所にて供給される希釈ガス流をもつ温度制御されたガス供給管 2020年 4月28日
特許 6678590 ナノチューブを堆積するための装置 2020年 4月 8日
特許 6667517 シード構造からカーボン構造を分離する方法 2020年 3月18日
特許 6654193 大面積基板のコーティング用装置 2020年 2月26日
特許 6647301 大面積基板コーティング用CVD又はPVD反応炉 2020年 2月14日

11 件中 1-11 件を表示

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6796380 6796491 6777381 6752199 6754365 6712592 6688290 6678590 6667517 6654193 6647301

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