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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7406503 | 炭素含有コーティングにより基板をコーティングするための装置 | 2023年12月27日 | |
特許 7402041 | CVDリアクタおよびCVDリアクタの洗浄方法 | 2023年12月20日 | |
特許 7399114 | SiC層堆積装置のプロセスチャンバに対向するサセプタ面をカバーするカバープレート | 2023年12月15日 | |
特許 7394055 | CVD法で堆積された層についての情報を得るための装置及び方法 | 2023年12月 7日 | |
特許 7377824 | CVDリアクタのサセプタ表面温度を計測するための装置 | 2023年11月10日 | |
特許 7307100 | 基板取扱い用担持リングを有するCVDリアクタ及びCVDリアクタでの担持リングの使用 | 2023年 7月11日 | |
特許 7266608 | サセプタを駆動シャフトに接続するための装置 | 2023年 4月28日 | |
特許 7254697 | リチウムイオンバッテリ用の電極およびその電極を製造する装置及び方法 | 2023年 4月10日 | |
特許 7229168 | マスクキャリアを有する基板ホルダ機構 | 2023年 2月27日 | |
特許 7221229 | コーティングされたトランスミッタコイルを具備するコーティング装置 | 2023年 2月13日 | |
特許 7200226 | エピタキシャル堆積前の表面調製方法及び装置 | 2023年 1月 6日 |
11 件中 1-11 件を表示
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7406503 7402041 7399114 7394055 7377824 7307100 7266608 7254697 7229168 7221229 7200226
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