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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-192872 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年 9月29日
特開 2011-192732 磁場界浸型電子銃及び電子線装置 2011年 9月29日
特開 2011-192519 イオン分子反応イオン化質量分析装置及び分析方法 2011年 9月29日
特開 2011-192368 ディスククランプ機構、磁気ヘッド及び磁気ディスク検査装置 2011年 9月29日
特開 2011-192327 磁気ヘッドローディング装置及び検査装置 2011年 9月29日
特開 2011-192867 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のステージ温度制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年 9月29日
再表 2009-142087 自動分析装置 2011年 9月29日
再表 2009-141957 検体前処理システム 2011年 9月29日
特開 2011-192785 多結晶シリコン薄膜検査方法及びその装置 2011年 9月29日
特開 2011-192498 検査装置および検査方法 2011年 9月29日
特開 2011-192496 SEM式欠陥観察装置および欠陥画像取得方法 2011年 9月29日
特開 2011-192649 プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の制御方法 2011年 9月29日
特開 2011-192766 半導体ウェーハの外観検査方法及びその装置 2011年 9月29日
特開 2011-185900 検査方法およびその装置 2011年 9月22日
特開 2011-187192 電子顕微鏡画像と光学画像を重ねて表示する方法 2011年 9月22日

689 件中 151-165 件を表示

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2011-192872 2011-192732 2011-192519 2011-192368 2011-192327 2011-192867 2009-142087 2009-141957 2011-192785 2011-192498 2011-192496 2011-192649 2011-192766 2011-185900 2011-187192

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