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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-187510 半導体検査装置および半導体検査方法 2013年 9月19日
特開 2013-186275 露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法 2013年 9月19日
特開 2013-185972 液体クロマトグラフ及び分析方法 2013年 9月19日
特開 2013-185918 プラズマ分光分析装置 2013年 9月19日
特開 2013-185912 自動分析装置 2013年 9月19日
特開 2013-182760 荷電粒子線装置 2013年 9月12日
特開 2013-182792 荷電粒子線装置 2013年 9月12日
特開 2013-182966 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年 9月12日
特開 2013-181910 質量分析システム 2013年 9月12日 共同出願
特開 2013-181903 分析装置および分析方法 2013年 9月12日
特開 2013-181931 温度計測装置 2013年 9月12日
再表 2012-14828 イオントラップ質量分析装置および質量分析方法 2013年 9月12日
特開 2013-182996 ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 2013年 9月12日
再表 2012-14870 収差補正装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 2013年 9月12日
特開 2013-179105 半導体評価装置、及びコンピュータープログラム 2013年 9月 9日

716 件中 211-225 件を表示

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2013-187510 2013-186275 2013-185972 2013-185918 2013-185912 2013-182760 2013-182792 2013-182966 2013-181910 2013-181903 2013-181931 2012-14828 2013-182996 2012-14870 2013-179105

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