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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-258451 走査電子顕微鏡 2011年12月22日
特開 2011-258614 プラズマ処理装置または試料載置台 2011年12月22日
特開 2011-253729 走査電子顕微鏡装置 2011年12月15日
特開 2011-252841 欠陥検査方法およびその装置 2011年12月15日
特開 2011-252781 パターン計測装置、パターン計測方法、およびプログラム 2011年12月15日
特開 2011-253916 プラズマ処理装置 2011年12月15日
特開 2011-252871 光学式検査装置、及び光学式検査装置のモデル予測によるスポット光の調整方法 2011年12月15日
特開 2011-252804 生体試料の分析方法および分析装置 2011年12月15日
特開 2011-254084 欠陥分類方法及びその装置 2011年12月15日
特開 2011-248217 プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法 2011年12月 8日
特開 2011-249657 試料吸着保持装置および試料吸着判定方法 2011年12月 8日
特開 2011-249597 プラズマ処理装置および処理方法 2011年12月 8日
特開 2011-247924 光源ユニット、光源ユニットの光軸調整方法、プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年12月 8日
特開 2011-248207 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及びパネル基板の製造方法 2011年12月 8日
特開 2011-249664 表示基板モジュール組立装置及び組立方法 2011年12月 8日

689 件中 16-30 件を表示

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2011-258451 2011-258614 2011-253729 2011-252841 2011-252781 2011-253916 2011-252871 2011-252804 2011-254084 2011-248217 2011-249657 2011-249597 2011-247924 2011-248207 2011-249664

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