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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第52位 689件
(2010年:第70位 624件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第98位 350件
(2010年:第95位 307件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-258451 | 走査電子顕微鏡 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-258614 | プラズマ処理装置または試料載置台 | 2011年12月22日 | |
特開 2011-253729 | 走査電子顕微鏡装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-252841 | 欠陥検査方法およびその装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-252781 | パターン計測装置、パターン計測方法、およびプログラム | 2011年12月15日 | |
特開 2011-253916 | プラズマ処理装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-252871 | 光学式検査装置、及び光学式検査装置のモデル予測によるスポット光の調整方法 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-252804 | 生体試料の分析方法および分析装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-254084 | 欠陥分類方法及びその装置 | 2011年12月15日 | |
特開 2011-248217 | プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法 | 2011年12月 8日 | |
特開 2011-249657 | 試料吸着保持装置および試料吸着判定方法 | 2011年12月 8日 | |
特開 2011-249597 | プラズマ処理装置および処理方法 | 2011年12月 8日 | |
特開 2011-247924 | 光源ユニット、光源ユニットの光軸調整方法、プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | 2011年12月 8日 | |
特開 2011-248207 | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及びパネル基板の製造方法 | 2011年12月 8日 | |
特開 2011-249664 | 表示基板モジュール組立装置及び組立方法 | 2011年12月 8日 |
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2011-258451 2011-258614 2011-253729 2011-252841 2011-252781 2011-253916 2011-252871 2011-252804 2011-254084 2011-248217 2011-249657 2011-249597 2011-247924 2011-248207 2011-249664
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