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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-234966 欠陥検査方法および欠陥検査装置 2013年11月21日
特開 2013-235018 欠陥検査装置 2013年11月21日
特開 2013-236033 真空処理装置及び試料の搬送方法 2013年11月21日
特開 2013-236032 欠陥解析支援装置、欠陥解析支援装置で実行されるプログラム、および欠陥解析システム 2013年11月21日
特開 2013-234969 検査装置 2013年11月21日
特開 2013-236031 欠陥分類装置、欠陥分類方法 2013年11月21日
特開 2013-231631 欠陥検査装置および欠陥検査方法 2013年11月14日
特開 2013-231701 自動分析装置 2013年11月14日
特開 2013-232427 荷電粒子線装置 2013年11月14日
特開 2013-232680 プラズマ処理装置 2013年11月14日
特開 2013-232299 荷電粒子線調整支援装置および方法 2013年11月14日
特開 2013-231711 サンプル液に含まれる揮発性物質の分析方法 2013年11月14日
特開 2013-231725 欠陥検査方法及びその装置 2013年11月14日
特開 2013-232435 走査型荷電粒子顕微鏡の画質改善方法および走査型荷電粒子顕微鏡装置 2013年11月14日
特開 2013-229454 膜厚モニタを有するVUV処理装置および処理方法 2013年11月 7日

716 件中 61-75 件を表示

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2013-234966 2013-235018 2013-236033 2013-236032 2013-234969 2013-236031 2013-231631 2013-231701 2013-232427 2013-232680 2013-232299 2013-231711 2013-231725 2013-232435 2013-229454

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