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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2013年 出願公開件数ランキング    第59位 716件 下降2012年:第54位 709件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第51位 717件 上昇2012年:第71位 547件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-228971 半導体回路パターン計測装置及び方法 2013年11月 7日
特開 2013-228254 光学式表面欠陥検査装置及び光学式表面欠陥検査方法 2013年11月 7日
特開 2013-229351 ドライエッチング方法 2013年11月 7日
特開 2013-227680 有機ELデバイス製造装置及び成膜装置並びに有機ELデバイス製造方法及び成膜方法 2013年11月 7日
特開 2013-229135 画像取得装置、画像取得装置の観察視野及び撮像画素数の算出方法、及び、プログラム 2013年11月 7日
特開 2013-229150 プラズマ処理装置 2013年11月 7日
特開 2013-229188 荷電粒子線装置 2013年11月 7日
特開 2013-229454 膜厚モニタを有するVUV処理装置および処理方法 2013年11月 7日
特開 2013-227029 半導体製造装置のセラミックス溶射皮膜が施された部品に使用する梱包容器及び当該部品を梱包した梱包体 2013年11月 7日
特開 2013-229104 荷電粒子線装置 2013年11月 7日
特開 2013-229394 パターンマッチング方法及び装置 2013年11月 7日
特開 2013-229271 荷電粒子顕微鏡 2013年11月 7日
特開 2013-229189 試料の寸法測定方法、および荷電粒子線装置 2013年11月 7日
特開 2013-229530 ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 2013年11月 7日
特開 2013-225521 電子銃 2013年10月31日

716 件中 76-90 件を表示

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2013-228971 2013-228254 2013-229351 2013-227680 2013-229135 2013-229150 2013-229188 2013-229454 2013-227029 2013-229104 2013-229394 2013-229271 2013-229189 2013-229530 2013-225521

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