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株式会社荏原製作所

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  2011年 出願公開件数ランキング    第387位 99件 下降2010年:第321位 140件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第295位 117件 下降2010年:第216位 145件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4846201 めっき装置及びめっき方法 2011年12月28日
特許 4845812 フッ素含有化合物を含む排ガスの処理装置 2011年12月28日
特許 4839134 可燃性原料供給システム 2011年12月21日
特許 4829526 排熱利用システム及び運転方法 2011年12月 7日
特許 4825608 真空排気装置および真空排気方法、基板の加工装置および基板の加工方法 2011年11月30日 共同出願
特許 4820844 動力伝達軸の継手構造 2011年11月24日
特許 4820669 排気装置、排気装置の運転方法 2011年11月24日
特許 4823744 ポンプ用摺動部材及びポンプ 2011年11月24日
特許 4820304 真空ポンプユニット 2011年11月24日
特許 4814916 リテーナリング 2011年11月16日
特許 4814677 基板保持装置および研磨装置 2011年11月16日
特許 4817687 研磨装置 2011年11月16日
特許 4809694 架台一体型ポンプ 2011年11月 9日
特許 4812327 給水装置 2011年11月 9日
特許 4812275 給水装置 2011年11月 9日

117 件中 1-15 件を表示

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4846201 4845812 4839134 4829526 4825608 4820844 4820669 4823744 4820304 4814916 4814677 4817687 4809694 4812327 4812275

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