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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第358位 118件
(2012年:第427位 92件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第276位 144件
(2012年:第286位 128件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5132653 | 消火ポンプ装置 | 2013年 1月30日 | |
特許 5129354 | 給水装置 | 2013年 1月30日 | |
特許 5129865 | 電子線検査装置及びその電子線検査装置を使用したウエハ欠陥検査装置 | 2013年 1月30日 | 共同出願 |
特許 5122626 | 給水装置 | 2013年 1月16日 | |
特許 5122321 | 可搬式排水ポンプ設備、及びその運転方法 | 2013年 1月16日 | |
特許 5113777 | 研磨装置 | 2013年 1月 9日 | |
特許 5112614 | 基板保持装置および研磨装置 | 2013年 1月 9日 | |
特許 5116949 | 排熱利用システム、及びその運転方法 | 2013年 1月 9日 | |
特許 5112007 | 研磨装置および研磨方法 | 2013年 1月 9日 | 共同出願 |
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5132653 5129354 5129865 5122626 5122321 5113777 5112614 5116949 5112007
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