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株式会社荏原製作所

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  2013年 出願公開件数ランキング    第358位 118件 上昇2012年:第427位 92件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第286位 128件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5132653 消火ポンプ装置 2013年 1月30日
特許 5129354 給水装置 2013年 1月30日
特許 5129865 電子線検査装置及びその電子線検査装置を使用したウエハ欠陥検査装置 2013年 1月30日 共同出願
特許 5122626 給水装置 2013年 1月16日
特許 5122321 可搬式排水ポンプ設備、及びその運転方法 2013年 1月16日
特許 5113777 研磨装置 2013年 1月 9日
特許 5112614 基板保持装置および研磨装置 2013年 1月 9日
特許 5116949 排熱利用システム、及びその運転方法 2013年 1月 9日
特許 5112007 研磨装置および研磨方法 2013年 1月 9日 共同出願

144 件中 136-144 件を表示

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5132653 5129354 5129865 5122626 5122321 5113777 5112614 5116949 5112007

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