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株式会社荏原製作所

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  2013年 出願公開件数ランキング    第358位 118件 上昇2012年:第427位 92件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第286位 128件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5189608 圧力タンクの異常検知方法および給水装置 2013年 4月24日
特許 5189891 モータ組立体およびポンプ装置 2013年 4月24日
特許 5185958 研磨ヘッド 2013年 4月17日
特許 5184308 めっき装置及びめっき方法 2013年 4月17日
特許 5180919 有機ガス供給装置の有機ガス濃度検出方法、有機ガス供給装置、及び有機ガス供給装置の運転方法 2013年 4月10日
特許 5175871 めっき装置 2013年 4月 3日
特許 5167010 研磨終点検知方法および研磨装置 2013年 3月21日
特許 5166829 改質器及び燃料電池システム 2013年 3月21日
特許 5160993 基板処理装置 2013年 3月13日
特許 5160954 研磨方法 2013年 3月13日
特許 5155755 磁性体膜めっき装置及びめっき処理設備 2013年 3月 6日
特許 5159187 可変速給水装置 2013年 3月 6日
特許 5155653 立軸ポンプ 2013年 3月 6日
特許 5156276 試料表面上の異物除去方法及びこれに用いる荷電粒子線装置 2013年 3月 6日
特許 5155517 ウエハ受渡装置及びポリッシング装置 2013年 3月 6日

144 件中 106-120 件を表示

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5189608 5189891 5185958 5184308 5180919 5175871 5167010 5166829 5160993 5160954 5155755 5159187 5155653 5156276 5155517

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