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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第266位 159件
(2013年:第230位 206件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第204位 207件
(2013年:第194位 216件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5412244 | ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5410732 | 感光性樹脂組成物及び封止剤 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5410061 | パターン微細化用被覆剤、及びそれを用いた微細パターンの形成方法 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5401598 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、酸発生剤 | 2014年 1月29日 | |
特許 5401597 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、酸発生剤 | 2014年 1月29日 | |
特許 5401051 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法および新規な化合物 | 2014年 1月29日 | |
特許 5398194 | レジスト用重合体、レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5401218 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5401086 | 液浸露光用レジスト組成物、レジストパターン形成方法および含フッ素樹脂 | 2014年 1月29日 | |
特許 5404459 | リソグラフィー用洗浄液及び配線形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5404028 | 被エッチング基体の製造方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5401126 | 液浸露光用レジスト組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5399639 | レジスト組成物並びにレジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5398272 | レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5398248 | 液浸露光用レジスト組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法 | 2014年 1月29日 |
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5412244 5410732 5410061 5401598 5401597 5401051 5398194 5401218 5401086 5404459 5404028 5401126 5399639 5398272 5398248
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