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東京応化工業株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第366位 107件 下降2010年:第258位 187件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第252位 139件 上昇2010年:第315位 98件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4818882 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年11月16日
特許 4817802 搬送処理装置 2011年11月16日
特許 4810411 処理装置 2011年11月 9日
特許 4813103 化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年11月 9日
特許 4813323 液体薬品の分配装置 2011年11月 9日
特許 4812610 ノズルの洗浄方法 2011年11月 9日
特許 4808385 ナノ材料の製造方法 2011年11月 2日 共同出願
特許 4808646 レジスト下層膜形成用組成物、及びこれを用いたレジスト下層膜 2011年11月 2日
特許 4808574 ポジ型レジスト組成物、レジストパターン形成方法および樹脂 2011年11月 2日
特許 4804873 スリットノズル 2011年11月 2日
特許 4808545 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年11月 2日
特許 4805033 洗浄ローラ 2011年11月 2日
特許 4804950 有機膜の液浸リソグラフィ溶解成分測定方法 2011年11月 2日
特許 4804028 ナノ構造体の製造方法 2011年10月26日 共同出願
特許 4803714 塗布装置及び塗布方法 2011年10月26日

139 件中 16-30 件を表示

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4818882 4817802 4810411 4813103 4813323 4812610 4808385 4808646 4808574 4804873 4808545 4805033 4804950 4804028 4803714

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