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東京応化工業株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第333位 124件 上昇2011年:第366位 107件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第259位 143件 下降2011年:第252位 139件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4991150 レジスト組成物およびレジスト組成物の製造方法 2012年 8月 1日
特許 4987837 高分子化合物 2012年 7月25日
特許 4986490 予備吐出装置 2012年 7月25日
特許 4982285 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2012年 7月25日
特許 4987411 パターン形成方法 2012年 7月25日
特許 4986634 気体噴出機構およびこれを組込んだ基板処理装置 2012年 7月25日
特許 4982292 塗布装置及び塗布方法 2012年 7月25日
特許 4980038 保護膜形成用材料及びホトレジストパターンの形成方法 2012年 7月18日
特許 4980406 レジストパターン形成方法 2012年 7月18日
特許 4976829 接着剤組成物、及び接着フィルム 2012年 7月18日
特許 4979915 高分子化合物、ネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2012年 7月18日
特許 4980040 レジスト被覆膜形成用材料およびレジストパターン形成方法 2012年 7月18日
特許 4980078 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2012年 7月18日
特許 4979409 塗布装置 2012年 7月18日
特許 4970977 反射防止膜形成用組成物、及びこれを用いたレジストパターン形成方法 2012年 7月11日

143 件中 61-75 件を表示

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4991150 4987837 4986490 4982285 4987411 4986634 4982292 4980038 4980406 4976829 4979915 4980040 4980078 4979409 4970977

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