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東京応化工業株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第366位 107件 下降2010年:第258位 187件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第252位 139件 上昇2010年:第315位 98件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4721828 サポートプレートの剥離方法 2011年 7月13日
特許 4722417 化合物、高分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 7月13日
特許 4717612 スプレー塗布用ホトレジスト組成物および積層体 2011年 7月 6日
特許 4717732 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 7月 6日
特許 4717640 液浸露光用レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 7月 6日
特許 4713234 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 6月29日
特許 4713235 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 6月29日
特許 4707987 化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物 2011年 6月22日
特許 4708194 金属パターン形成材料及び金属パターンの形成方法 2011年 6月22日
特許 4708113 レジスト組成物、レジストパターン形成方法 2011年 6月22日
特許 4704228 レジスト液供給装置及び当該レジスト液供給装置を得るための改造キット 2011年 6月15日
特許 4694686 半導体素子製造方法 2011年 6月 8日
特許 4699140 パターン形成方法 2011年 6月 8日
特許 4694153 高分子化合物、該高分子化合物を含有するフォトレジスト組成物、およびレジストパターン形成方法 2011年 6月 8日
特許 4699329 液体薬品の分配装置及び分配方法 2011年 6月 8日

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4721828 4722417 4717612 4717732 4717640 4713234 4713235 4707987 4708194 4708113 4704228 4694686 4699140 4694153 4699329

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