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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第230位 206件 (2012年:第333位 124件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5276805 | レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5275596 | 光硬化性樹脂組成物及びパターン形成方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5268588 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、新規な化合物および酸発生剤 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270814 | 感光性組成物用着色剤分散液 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270840 | パターン微細化用被覆形成剤及びそれを用いた微細パターンの形成方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270839 | パターン微細化用被覆形成剤及びそれを用いた微細パターンの形成方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5271554 | サポートプレート | 2013年 8月21日 | |
特許 5264404 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、酸発生剤 | 2013年 8月14日 | |
特許 5264575 | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2013年 8月14日 | |
特許 5264393 | レジストパターン形成方法 | 2013年 8月14日 | |
特許 5255823 | 予備吐出装置、及び予備吐出方法 | 2013年 8月 7日 | |
特許 5255245 | サポートプレートの貼合方法 | 2013年 8月 7日 | |
特許 5250226 | 高分子化合物、ポジ型レジスト組成物、およびレジストパターン形成方法 | 2013年 7月31日 | |
特許 5249588 | 着色感光性樹脂組成物 | 2013年 7月31日 | |
特許 5250309 | レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2013年 7月31日 |
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5276805 5275596 5268588 5270814 5270840 5270839 5271554 5264404 5264575 5264393 5255823 5255245 5250226 5249588 5250309
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