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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第528位 66件
(2011年:第971位 29件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第1187位 23件
(2011年:第886位 31件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4951036 | 露光装置 | 2012年 6月13日 | |
特許 4933814 | 作業装置におけるワーク受け渡し装置 | 2012年 5月16日 | |
特許 4914043 | 露光装置 | 2012年 4月11日 | |
特許 4888859 | 近接露光装置 | 2012年 2月29日 | |
特許 4887047 | パターン修正装置 | 2012年 2月29日 | |
特許 4875354 | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 | 2012年 2月15日 | |
特許 4871145 | 露光方法及び露光装置 | 2012年 2月 8日 | |
特許 4866002 | 露光装置 | 2012年 2月 1日 |
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4951036 4933814 4914043 4888859 4887047 4875354 4871145 4866002
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