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株式会社ブイ・テクノロジー

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  2019年 特許取得件数ランキング    第771位 28件 上昇2018年:第1328位 14件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6623078 レーザアニール方法及びレーザアニール装置 2019年12月18日
特許 6615658 マスク及び薄膜トランジスタの製造方法 2019年12月 4日
特許 6613168 偏光子ユニット、偏光光照射装置及び偏光子ユニットのガス充填方法 2019年11月27日
特許 6606479 マスク保持装置 2019年11月13日
特許 6591916 マスク製造装置 2019年10月16日
特許 6587557 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 2019年10月 9日
特許 6587822 外観検査装置 2019年10月 9日
特許 6578075 偏光光照射装置 2019年 9月18日
特許 6574087 露光装置、露光方法及びミラー曲げ機構付き反射鏡 2019年 9月11日
特許 6570353 白色発光装置 2019年 9月 4日
特許 6564727 マスク製造装置及びマスク製造装置の制御方法 2019年 8月21日
特許 6564846 ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 2019年 8月21日
特許 6535197 露光装置及び露光方法 2019年 6月26日
特許 6535206 露光方法及び露光装置 2019年 6月26日
特許 6535211 密着露光装置における密着方法 2019年 6月26日

29 件中 1-15 件を表示

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6623078 6615658 6613168 6606479 6591916 6587557 6587822 6578075 6574087 6570353 6564727 6564846 6535197 6535206 6535211

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