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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第606位 49件
(
2018年:第729位 36件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第771位 28件
(
2018年:第1328位 14件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6623078 | レーザアニール方法及びレーザアニール装置 | 2019年12月18日 | |
| 特許 6615658 | マスク及び薄膜トランジスタの製造方法 | 2019年12月 4日 | |
| 特許 6613168 | 偏光子ユニット、偏光光照射装置及び偏光子ユニットのガス充填方法 | 2019年11月27日 | |
| 特許 6606479 | マスク保持装置 | 2019年11月13日 | |
| 特許 6591916 | マスク製造装置 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6587822 | 外観検査装置 | 2019年10月 9日 | |
| 特許 6587557 | 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 | 2019年10月 9日 | |
| 特許 6578075 | 偏光光照射装置 | 2019年 9月18日 | |
| 特許 6574087 | 露光装置、露光方法及びミラー曲げ機構付き反射鏡 | 2019年 9月11日 | |
| 特許 6570353 | 白色発光装置 | 2019年 9月 4日 | |
| 特許 6564846 | ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 | 2019年 8月21日 | |
| 特許 6564727 | マスク製造装置及びマスク製造装置の制御方法 | 2019年 8月21日 | |
| 特許 6535197 | 露光装置及び露光方法 | 2019年 6月26日 | |
| 特許 6535211 | 密着露光装置における密着方法 | 2019年 6月26日 | |
| 特許 6535206 | 露光方法及び露光装置 | 2019年 6月26日 |
29 件中 1-15 件を表示
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6623078 6615658 6613168 6606479 6591916 6587822 6587557 6578075 6574087 6570353 6564846 6564727 6535197 6535211 6535206
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