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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6781872 | レーザ照射装置および薄膜トランジスタの製造方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6765607 | 露光装置、露光方法 | 2020年10月 7日 | |
特許 6761479 | レーザ照射装置、薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法 | 2020年 9月23日 | |
特許 6755472 | 光照射装置 | 2020年 9月16日 | |
特許 6736127 | レーザポンプチャンバ装置 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6732285 | 配線修正装置、配線修正装置の制御方法、記録媒体、およびプログラム | 2020年 7月29日 | |
特許 6723112 | 露光装置及び露光方法 | 2020年 7月15日 | |
特許 6714992 | 偏光光照射装置及び偏光光照射方法 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6714995 | 成膜マスクの製造方法 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6712508 | 照度調整フィルタの製造方法、照度調整フィルタ、照明光学系、及び露光装置 | 2020年 6月24日 | |
特許 6712527 | プロキシミティ露光方法 | 2020年 6月24日 | |
特許 6712587 | 走査露光装置 | 2020年 6月24日 | |
特許 6705666 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6669481 | 検査装置 | 2020年 3月18日 | |
特許 6663914 | 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 | 2020年 3月13日 |
18 件中 1-15 件を表示
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6781872 6765607 6761479 6755472 6736127 6732285 6723112 6714992 6714995 6712508 6712527 6712587 6705666 6669481 6663914
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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