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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第620位 49件
(2019年:第608位 53件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第1077位 18件
(2019年:第771位 28件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6781872 | レーザ照射装置および薄膜トランジスタの製造方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6765607 | 露光装置、露光方法 | 2020年10月 7日 | |
特許 6761479 | レーザ照射装置、薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法 | 2020年 9月23日 | |
特許 6755472 | 光照射装置 | 2020年 9月16日 | |
特許 6736127 | レーザポンプチャンバ装置 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6732285 | 配線修正装置、配線修正装置の制御方法、記録媒体、およびプログラム | 2020年 7月29日 | |
特許 6723112 | 露光装置及び露光方法 | 2020年 7月15日 | |
特許 6714992 | 偏光光照射装置及び偏光光照射方法 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6714995 | 成膜マスクの製造方法 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6712508 | 照度調整フィルタの製造方法、照度調整フィルタ、照明光学系、及び露光装置 | 2020年 6月24日 | |
特許 6712527 | プロキシミティ露光方法 | 2020年 6月24日 | |
特許 6712587 | 走査露光装置 | 2020年 6月24日 | |
特許 6705666 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6669481 | 検査装置 | 2020年 3月18日 | |
特許 6663914 | 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 | 2020年 3月13日 |
18 件中 1-15 件を表示
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6781872 6765607 6761479 6755472 6736127 6732285 6723112 6714992 6714995 6712508 6712527 6712587 6705666 6669481 6663914
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