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株式会社アルバック

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  2014年 出願公開件数ランキング    第254位 168件 下降2013年:第112位 434件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第185位 238件 下降2013年:第104位 384件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
再表 2012-46444 偏心旋回駆動装置 2014年 2月24日
再表 2012-46405 偏心旋回駆動装置 2014年 2月24日
特開 2014-31558 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 2014年 2月20日
特開 2014-33148 光照射装置 2014年 2月20日
特開 2014-33139 デバイスの製造方法 2014年 2月20日
特開 2014-28999 成膜装置 2014年 2月13日
特開 2014-29115 真空排気装置の接続構造及び真空排気システム 2014年 2月13日
特開 2014-29114 真空排気装置の連結構造及び真空排気装置 2014年 2月13日
特開 2014-27044 トレイ、基板の位置調整システム、及び露光装置 2014年 2月 6日
特開 2014-25625 減圧システム 2014年 2月 6日
特開 2014-26041 露光装置及び露光方法 2014年 2月 6日
再表 2012-42791 タングステンターゲットおよびその製造方法 2014年 2月 3日
特開 2014-22447 GaN系デバイスの製造方法およびAlNの成膜方法 2014年 2月 3日
特開 2014-20422 真空処理装置用の断熱材 2014年 2月 3日
再表 2012-36043 真空処理装置 2014年 2月 3日

168 件中 136-150 件を表示

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2012-46444 2012-46405 2014-31558 2014-33148 2014-33139 2014-28999 2014-29115 2014-29114 2014-27044 2014-25625 2014-26041 2012-42791 2014-22447 2014-20422 2012-36043

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