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株式会社アルバック

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  2013年 出願公開件数ランキング    第112位 434件 上昇2012年:第135位 339件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第104位 384件 上昇2012年:第106位 389件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-122069 窒化タングステン膜の形成方法、及び窒化タングステン膜の形成装置 2013年 6月20日
特開 2013-122068 タングステン化合物膜の形成方法、及び半導体装置 2013年 6月20日
特開 2013-120858 Cu層形成方法及び半導体装置の製造方法 2013年 6月17日
特開 2013-119661 ターゲットアッセンブリ及びスパッタリングターゲット 2013年 6月17日
特開 2013-119645 薄膜製造方法及び薄膜製造装置 2013年 6月17日
再表 2011-102122 真空処理装置 2013年 6月17日
特開 2013-119634 酸化皮膜の形成方法及び酸化皮膜 2013年 6月17日
再表 2011-102117 四重極型質量分析計 2013年 6月17日
再表 2011-102320 電子線照射装置及び電子線照射方法 2013年 6月17日
特開 2013-120859 リフロー法及び半導体装置の製造方法 2013年 6月17日
再表 2011-102083 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年 6月17日
特開 2013-116449 ミストトラップ装置 2013年 6月13日
特開 2013-117066 光路形成装置並びにこれを備えた撮像装置、変位測定装置及び検出装置 2013年 6月13日
再表 2011-99238 トランスデューサ型真空計 2013年 6月13日
特開 2013-118223 結晶太陽電池の製造方法及び結晶太陽電池 2013年 6月13日

434 件中 166-180 件を表示

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2013-122069 2013-122068 2013-120858 2013-119661 2013-119645 2011-102122 2013-119634 2011-102117 2011-102320 2013-120859 2011-102083 2013-116449 2013-117066 2011-99238 2013-118223

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