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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第112位 434件
(2012年:第135位 339件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第104位 384件
(2012年:第106位 389件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-82961 | スパッタ装置 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-81046 | 成膜装置及び成膜方法 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-81025 | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-80980 | 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-78270 | 真空処理装置の運用方法 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-78171 | 太陽電池の評価方法及び評価装置 | 2013年 5月 9日 | |
再表 2011-77678 | 基板保持装置 | 2013年 5月 2日 | |
再表 2011-77738 | インサート成形用装飾フィルム、インサート成形品及びインサート成形用装飾フィルムの製造方法 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-79432 | タングステン遮光膜の製造方法、タングステン遮光膜 | 2013年 5月 2日 | |
再表 2011-77662 | 真空蒸着装置及びそのメンテナンス方法 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-80812 | 基板処理装置 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-80779 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-76685 | 流量測定装置 | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-77631 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-72694 | 熱陰極電離真空計 | 2013年 4月22日 |
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2013-82961 2011-81046 2011-81025 2011-80980 2011-78270 2011-78171 2011-77678 2011-77738 2013-79432 2011-77662 2013-80812 2013-80779 2013-76685 2013-77631 2013-72694
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