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株式会社アルバック

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株式会社アルバックの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2014-109052	無機酸化物膜の形成装置、及び、ＩＧＺＯ膜の形成方法	2014年 6月12日
特開 2014-107470	タングステン膜の形成方法、タングステン配線層の形成方法及びスパッタリング装置	2014年 6月 9日
特開 2014-105368	スパッタリング装置、薄膜製造方法	2014年 6月 9日
再表 2012-86767	真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法	2014年 6月 5日
特開 2014-101535	基板処理装置のアライメント機構	2014年 6月 5日
特開 2014-101564	コバルト膜の形成方法	2014年 6月 5日
特開 2014-99331	薄膜リチウム二次電池及びその作製方法	2014年 5月29日
特開 2014-98205	成膜装置	2014年 5月29日
再表 2012-86169	誘電体デバイスの製造方法及びアッシング方法	2014年 5月22日
特開 2014-96297	プラズマ処理装置	2014年 5月22日
再表 2012-86512	薄膜リチウム二次電池製造装置及び薄膜リチウム二次電池製造方法	2014年 5月22日
特開 2014-95122	マグネトロンスパッタ装置	2014年 5月22日
再表 2012-86183	トンネル磁気抵抗素子の製造方法	2014年 5月22日	共同出願
再表 2012-70184	リチウム硫黄二次電池用の正極及びその形成方法	2014年 5月19日
特開 2014-91861	スパッタリング方法及びスパッタリング装置	2014年 5月19日

168 件中 46-60 件を表示

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2014-109052 2014-107470 2014-105368 2012-86767 2014-101535 2014-101564 2014-99331 2014-98205 2012-86169 2014-96297 2012-86512 2014-95122 2012-86183 2012-70184 2014-91861

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