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株式会社アルバック

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  2014年 出願公開件数ランキング    第254位 168件 下降2013年:第112位 434件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第185位 238件 下降2013年:第104位 384件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-91861 スパッタリング方法及びスパッタリング装置 2014年 5月19日
再表 2012-77590 有機薄膜形成装置 2014年 5月19日
再表 2012-70560 成膜装置及び成膜装置のクリーニング方法 2014年 5月19日
再表 2012-70551 メモリ素子の製造装置及び製造方法 2014年 5月19日
再表 2012-70184 リチウム硫黄二次電池用の正極及びその形成方法 2014年 5月19日
再表 2012-77296 給電装置 2014年 5月19日
再表 2012-70195 スパッタリング方法 2014年 5月19日
再表 2012-57081 凍結真空乾燥装置及び凍結粒子製造方法 2014年 5月12日
特開 2014-84487 薄膜積層シートの形成方法、及び、薄膜積層シートの形成装置 2014年 5月12日
特開 2014-85649 露光装置 2014年 5月12日
特開 2014-86537 Cu層形成方法及び半導体装置の製造方法 2014年 5月12日
再表 2012-57127 誘電体デバイスの製造方法 2014年 5月12日
再表 2012-66782 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム 2014年 5月12日
再表 2012-66715 リークディテクタ 2014年 5月12日
再表 2012-60423 ラジカルクリーニング装置及び方法 2014年 5月12日

168 件中 61-75 件を表示

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2014-91861 2012-77590 2012-70560 2012-70551 2012-70184 2012-77296 2012-70195 2012-57081 2014-84487 2014-85649 2014-86537 2012-57127 2012-66782 2012-66715 2012-60423

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