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株式会社アルバック

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  2012年 出願公開件数ランキング    第135位 339件 上昇2011年:第167位 266件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第106位 389件 上昇2011年:第133位 277件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-201910 マグネトロンスパッタ電極及びスパッタリング装置 2012年10月22日
再表 2010-116721 光電変換装置の製造システム及び光電変換装置の製造方法 2012年10月18日
特開 2012-198113 漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置 2012年10月18日
特開 2012-197941 流体制御装置およびこれを用いたガス処理装置 2012年10月18日 共同出願
再表 2010-116747 メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材の表面処理方法及びこの表面処理方法により処理されたメカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプ 2012年10月18日
特開 2012-192506 基板搬送ロボット 2012年10月11日
特開 2012-195426 基板処理装置の制御方法 2012年10月11日
特開 2012-195211 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2012年10月11日
特開 2012-195336 回転駆動装置 2012年10月11日
特開 2012-195335 回転駆動装置、搬送装置及び回転伝達機構 2012年10月11日
特開 2012-195499 基板処理装置及び基板処理方法 2012年10月11日
特開 2012-195498 半導体製造装置 2012年10月11日
特開 2012-193812 仕切弁 2012年10月11日
特開 2012-193413 真空蒸着装置及び薄膜の形成方法 2012年10月11日
特開 2012-195383 バリヤー膜の形成方法及びICチップパッケージ 2012年10月11日

339 件中 76-90 件を表示

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2012-201910 2010-116721 2012-198113 2012-197941 2010-116747 2012-192506 2012-195426 2012-195211 2012-195336 2012-195335 2012-195499 2012-195498 2012-193812 2012-193413 2012-195383

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