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株式会社アルバック

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  2014年 出願公開件数ランキング    第254位 168件 下降2013年:第112位 434件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第185位 238件 下降2013年:第104位 384件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
再表 2012-66764 バッキングプレート、ターゲットアセンブリ及びスパッタリング用ターゲット 2014年 5月12日
再表 2012-66782 真空排気装置の連結構造及び真空排気システム 2014年 5月12日
再表 2012-66715 リークディテクタ 2014年 5月12日
再表 2012-57108 スパッタリング装置及びIn金属酸化物膜の形成方法 2014年 5月12日
特開 2014-85649 露光装置 2014年 5月12日
再表 2012-57127 誘電体デバイスの製造方法 2014年 5月12日
再表 2012-60423 ラジカルクリーニング装置及び方法 2014年 5月12日
再表 2012-57172 プレートヒータ 2014年 5月12日 共同出願
再表 2012-66756 触針式測定装置 2014年 5月12日
特開 2014-86509 太陽電池、電極付き基板、太陽電池の製造方法 2014年 5月12日
特開 2014-86537 Cu層形成方法及び半導体装置の製造方法 2014年 5月12日
特開 2014-80304 多孔質シリカ膜前駆体組成物、多孔質シリカ膜の製造方法及び多孔質シリカ膜並びに半導体素子 2014年 5月 8日
特開 2014-80655 成膜装置 2014年 5月 8日
特開 2014-80659 蒸着装置 2014年 5月 8日
特開 2014-77155 成膜装置及び成膜用マスク 2014年 5月 1日

168 件中 76-90 件を表示

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2012-66764 2012-66782 2012-66715 2012-57108 2014-85649 2012-57127 2012-60423 2012-57172 2012-66756 2014-86509 2014-86537 2014-80304 2014-80655 2014-80659 2014-77155

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