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株式会社アルバック

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株式会社アルバックの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2013-165580	発電機	2013年 8月22日
再表 2011-162297	成膜装置、成膜装置のメンテナンス方法	2013年 8月22日
特開 2013-165227	ワークホルダ及びワークセット方法	2013年 8月22日
再表 2011-162255	バリア膜の形成方法及び金属配線膜の形成方法	2013年 8月22日
再表 2011-158828	スパッタ成膜装置及び防着部材	2013年 8月19日
再表 2011-158781	成膜装置	2013年 8月19日
再表 2011-158469	基板エッチング方法およびサファイア基板の製造方法	2013年 8月19日
再表 2011-161912	基板ホルダ、成膜装置および成膜方法	2013年 8月19日
再表 2011-158455	スパッタリングターゲットおよびその製造方法	2013年 8月19日
特開 2013-162084	静電チャックの再生方法	2013年 8月19日
再表 2011-161888	搬送装置及び搬送装置の製造方法	2013年 8月19日
再表 2011-158444	搬送処理装置及び処理装置	2013年 8月19日
特開 2013-157528	プラズマエッチング装置	2013年 8月15日
特開 2013-157475	成膜装置	2013年 8月15日
特開 2013-151720	真空成膜装置	2013年 8月 8日

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2013-165580 2011-162297 2013-165227 2011-162255 2011-158828 2011-158781 2011-158469 2011-161912 2011-158455 2013-162084 2011-161888 2011-158444 2013-157528 2013-157475 2013-151720

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