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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第135位 339件
(2011年:第167位 266件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第106位 389件
(2011年:第133位 277件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5061119 | 巻取式真空成膜装置の運転方法および巻取式真空成膜装置 | 2012年10月31日 | |
特許 5064264 | 真空ポンプ、及び真空ポンプの製造方法 | 2012年10月31日 | |
特許 5061191 | ステージ装置組み立て方法 | 2012年10月31日 | |
特許 5064835 | 基板搬送装置 | 2012年10月31日 | |
特許 5057005 | 真空処理装置 | 2012年10月24日 | |
特許 5059597 | 巻取式真空成膜装置 | 2012年10月24日 | |
特許 5057008 | イオン注入装置 | 2012年10月24日 | 共同出願 |
特許 5054226 | 酸素の検出方法,空気リークの判別方法,ガス成分検出装置,及び真空処理装置 | 2012年10月24日 | |
特許 5059227 | 吐出ヘッド製造方法 | 2012年10月24日 | |
特許 5058548 | アルミニウム材の表面処理方法 | 2012年10月24日 | 共同出願 |
特許 5052152 | 真空チャンバ、ロードロックチャンバ、及び処理装置 | 2012年10月17日 | |
特許 5049433 | 加熱触媒体を用いた化学気相堆積方法及び化学気相堆積装置 | 2012年10月17日 | |
特許 5049473 | 配線形成方法及び配線 | 2012年10月17日 | |
特許 5049561 | マグネトロンスパッタ電極及びマグネトロンスパッタ電極を備えたスパッタリング装置 | 2012年10月17日 | |
特許 5053388 | 搬送ロボットの診断システム | 2012年10月17日 |
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5061119 5064264 5061191 5064835 5057005 5059597 5057008 5054226 5059227 5058548 5052152 5049433 5049473 5049561 5053388
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