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株式会社アルバック

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  2012年 出願公開件数ランキング    第135位 339件 上昇2011年:第167位 266件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第106位 389件 上昇2011年:第133位 277件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5061119 選択 巻取式真空成膜装置の運転方法および巻取式真空成膜装置 2012年10月31日
特許 5064264 選択 真空ポンプ、及び真空ポンプの製造方法 2012年10月31日
特許 5061191 選択 ステージ装置組み立て方法 2012年10月31日
特許 5064835 選択 基板搬送装置 2012年10月31日
特許 5057005 選択 真空処理装置 2012年10月24日
特許 5059597 選択 巻取式真空成膜装置 2012年10月24日
特許 5057008 選択 イオン注入装置 2012年10月24日 共同出願
特許 5054226 選択 酸素の検出方法,空気リークの判別方法,ガス成分検出装置,及び真空処理装置 2012年10月24日
特許 5059227 選択 吐出ヘッド製造方法 2012年10月24日
特許 5058548 選択 アルミニウム材の表面処理方法 2012年10月24日 共同出願
特許 5052152 選択 真空チャンバ、ロードロックチャンバ、及び処理装置 2012年10月17日
特許 5049433 選択 加熱触媒体を用いた化学気相堆積方法及び化学気相堆積装置 2012年10月17日
特許 5049473 選択 配線形成方法及び配線 2012年10月17日
特許 5049561 選択 マグネトロンスパッタ電極及びマグネトロンスパッタ電極を備えたスパッタリング装置 2012年10月17日
特許 5053388 選択 搬送ロボットの診断システム 2012年10月17日

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5061119 5064264 5061191 5064835 5057005 5059597 5057008 5054226 5059227 5058548 5052152 5049433 5049473 5049561 5053388

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