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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第254位 168件
(2013年:第112位 434件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第185位 238件
(2013年:第104位 384件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5520555 | イオン照射方法 | 2014年 6月11日 | |
特許 5518866 | 半導体装置の製造方法 | 2014年 6月11日 | |
特許 5513389 | シリコンの精製方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5512941 | シリコンの精製装置および精製方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5514595 | 電子線照射装置 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5509026 | ラジカルの測定方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5514557 | 非晶質Si太陽電池基板の製造方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5511972 | 偏心旋回駆動装置 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5514526 | 車両用窓ガラス製造方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5504091 | 成膜方法及び成膜装置 | 2014年 5月28日 | |
特許 5506921 | 真空処理装置並びに基板とアラインメントマスクの移動方法及び位置合わせ方法並びに成膜方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5506824 | 成膜装置及び成膜方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5503905 | スパッタ装置及びスパッタ方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5504353 | 真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5507074 | 基板の貼合わせ方法及び基板貼合わせ装置 | 2014年 5月28日 |
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5520555 5518866 5513389 5512941 5514595 5509026 5514557 5511972 5514526 5504091 5506921 5506824 5503905 5504353 5507074
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3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月7日(金) - 東京 港区
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