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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第332位 110件 (2019年:第334位 117件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第276位 101件 (2019年:第244位 113件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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再表 2019-180889 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び静電シールド | 2020年 4月30日 | |
再表 2019-58488 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年 4月23日 | |
特開 2020-65019 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2020年 4月23日 | |
再表 2019-35223 | プラズマ生成装置、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2020年 4月16日 | |
再表 2019-87445 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年 4月 9日 | |
特開 2020-57769 | 半導体装置の製造方法、プログラム、及び基板処理装置 | 2020年 4月 9日 | |
特開 2020-57796 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および加熱部 | 2020年 4月 9日 | |
再表 2019-58597 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-49575 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53419 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53468 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53469 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53506 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体。 | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53507 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年 4月 2日 | |
特開 2020-53551 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法 | 2020年 4月 2日 |
110 件中 61-75 件を表示
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2019-180889 2019-58488 2020-65019 2019-35223 2019-87445 2020-57769 2020-57796 2019-58597 2020-49575 2020-53419 2020-53468 2020-53469 2020-53506 2020-53507 2020-53551
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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