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株式会社KOKUSAI ELECTRIC

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7905833 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム 2026年 8月17日
特許 7905450 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2026年 8月14日
特許 7901031 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2026年 8月 5日
特許 7894820 基板処理装置、基板支持具の搬送方法、基板処理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2026年 7月24日
特許 7894819 基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2026年 7月24日
特許 7887247 成膜方法 2026年 7月 9日
特許 7886954 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2026年 7月 8日
特許 7882963 基板処理装置、ノズル、半導体装置の製造方法、及びプログラム 2026年 6月30日
特許 7881726 基板処理装置、断熱構造、基板処理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2026年 6月29日
特許 7870329 基板処理方法、プログラム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 2026年 6月 4日
特許 7858774 基板処理装置、ガスノズル、半導体装置の製造方法、基板処理方法及びプログラム 2026年 5月14日
特許 7857455 処理方法、半導体装置の製造方法、処理装置、およびプログラム 2026年 5月12日
特許 7846640 基板処理方法 2026年 4月15日
特許 7844697 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2026年 4月13日
特許 7844154 基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム 2026年 4月13日

47 件中 16-30 件を表示

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7905833 7905450 7901031 7894820 7894819 7887247 7886954 7882963 7881726 7870329 7858774 7857455 7846640 7844697 7844154

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