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株式会社KOKUSAI ELECTRIC

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7644739 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム、および基板処理装置 2025年 3月12日
特許 7642769 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム 2025年 3月10日
特許 7641258 基板処理装置、クリーニング方法、半導体装置の製造方法及びプログラム 2025年 3月 6日
特許 7640620 処理方法、半導体装置の製造方法、処理装置、およびプログラム 2025年 3月 5日
特許 7640685 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム 2025年 3月 5日
特許 7636543 半導体装置の製造方法、処理方法、処理装置、およびプログラム 2025年 2月26日
特許 7635324 半導体装置の製造方法、ノズルのクリーニング方法、基板処理装置、及びプログラム 2025年 2月25日
特許 7633217 変換用配管、基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 2025年 2月19日
特許 7628600 処理装置、プログラム及び半導体装置の製造方法 2025年 2月10日
特許 7617870 基板処理装置、電極、半導体装置の製造方法およびプログラム 2025年 1月20日
特許 7614159 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム 2025年 1月15日
特許 7608478 基板処理方法、プログラム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 2025年 1月 6日

27 件中 16-27 件を表示

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7644739 7642769 7641258 7640620 7640685 7636543 7635324 7633217 7628600 7617870 7614159 7608478

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