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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第537位 58件
(2022年:第412位 81件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第321位 99件
(2022年:第417位 70件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-34737 | 基板昇降装置及び成膜装置 | 2023年 3月13日 | |
特開 2023-35655 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月13日 | |
特開 2023-30550 | 真空装置、電子デバイスの製造装置 | 2023年 3月 8日 | |
特開 2023-26436 | 吸着装置、マスクと基板との位置調整方法及び成膜方法 | 2023年 2月24日 | |
特開 2023-21724 | キャリア支持装置、アライメント装置、成膜装置、マスク載置方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 2月14日 | |
特開 2023-17233 | 基板キャリア、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 2月 7日 | |
特開 2023-13263 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源 | 2023年 1月26日 | |
特開 2023-13910 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット | 2023年 1月26日 | |
特開 2023-6149 | スパッタ装置及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 1月18日 | |
特開 2023-6676 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット | 2023年 1月18日 | |
特開 2023-6677 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源ユニット | 2023年 1月18日 | |
特開 2023-6678 | 成膜装置及び成膜方法 | 2023年 1月18日 | |
特開 2023-2322 | 計測装置、制御装置、計測方法および制御方法 | 2023年 1月10日 |
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2023-34737 2023-35655 2023-30550 2023-26436 2023-21724 2023-17233 2023-13263 2023-13910 2023-6149 2023-6676 2023-6677 2023-6678 2023-2322
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6月16日(月) - 東京 大田
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