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エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー

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  2018年 出願公開件数ランキング    第1123位 23件 上昇2017年:第1441位 19件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第967位 21件 上昇2017年:第1232位 16件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-191005 基板をボンディングする装置および方法 2018年11月29日
特表 2018-531789 基材の表面上のミリメートル、マイクロメートルまたはナノメートル構造を処理するための方法 2018年11月 1日
特開 2018-166222 スタンパ構造を備えたスタンパ並びにその製造方法 2018年10月25日
特開 2018-152619 ウエハの永久接合方法 2018年 9月27日
特開 2018-137478 ボンディング層を施与する方法 2018年 8月30日
特表 2018-523287 シード層上に成長層を施す方法 2018年 8月16日
特表 2018-523296 ボンディング前に基板を位置合わせする方法 2018年 8月16日
特開 2018-125565 インプリントリソグラフィーのためのインプリント材料 2018年 8月 9日
特表 2018-520512 基板表面に構造を作製する方法 2018年 7月26日
特開 2018-117165 ウェハの装着用受け取り手段 2018年 7月26日
特表 2018-515908 2つの基板をボンディングするための基板ホルダおよび方法 2018年 6月14日
特開 2018-85535 接触面の少なくとも一方において、接触面の一方に施与された犠牲層を溶解させながら金属接触面を接合する方法 2018年 5月31日
特開 2018-85539 基板スタックを取り扱うための、収容システム及び装置及び方法 2018年 5月31日
特表 2018-513546 仮接合された基板スタックの結合層を少なくとも部分的に溶解するための装置および方法 2018年 5月24日
特開 2018-82204 基板同士をボンディングする装置および方法 2018年 5月24日

23 件中 1-15 件を表示

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2018-191005 2018-531789 2018-166222 2018-152619 2018-137478 2018-523287 2018-523296 2018-125565 2018-520512 2018-117165 2018-515908 2018-85535 2018-85539 2018-513546 2018-82204

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