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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第921位 29件
(2022年:第1049位 24件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第323位 98件
(2022年:第366位 80件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7325793 | バルブ、流体制御装置、および、パージガスラインの変更方法 | 2023年 8月15日 | |
特許 7325112 | 情報提供装置、流体制御機器、情報提供方法、及びコンピュータプログラム | 2023年 8月14日 | |
特許 7323945 | 濃度測定方法 | 2023年 8月 9日 | |
特許 7320836 | ボール弁 | 2023年 8月 4日 | |
特許 7315963 | 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム | 2023年 7月27日 | |
特許 7316011 | ガス供給システムおよびガス供給方法 | 2023年 7月27日 | |
特許 7312445 | ヒータ、ヒータの装着方法及び流体供給ユニット | 2023年 7月21日 | |
特許 7308506 | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法、半導体製造方法、および半導体製造装置 | 2023年 7月14日 | |
特許 7308542 | バルブ装置およびガス供給システム | 2023年 7月14日 | |
特許 7305200 | 濃度測定方法 | 2023年 7月10日 | |
特許 7304059 | 温度作動弁 | 2023年 7月 6日 | |
特許 7303560 | 流体供給システム | 2023年 7月 5日 | |
特許 7300160 | バルブ | 2023年 6月29日 | |
特許 7300187 | ダイヤフラムバルブおよびその監視方法 | 2023年 6月29日 | |
特許 7299630 | バルブ装置およびガス供給システム | 2023年 6月28日 |
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7325793 7325112 7323945 7320836 7315963 7316011 7312445 7308506 7308542 7305200 7304059 7303560 7300160 7300187 7299630
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