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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第471位 83件 (2016年:第1441位 17件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第664位 36件 (2016年:第658位 38件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
再表 2016-98193 | 極端紫外光生成装置 | 2017年 9月28日 | |
再表 2016-98237 | グレーティング、グレーティングの製造方法及びグレーティングの再生方法 | 2017年 9月28日 | |
再表 2016-98543 | 極端紫外光生成装置 | 2017年 9月28日 | |
再表 2016-79810 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の生成方法 | 2017年 9月 7日 | |
再表 2016-84167 | 加振ユニット、ターゲット供給装置および極端紫外光生成システム | 2017年 9月 7日 | |
再表 2016-84755 | 狭帯域化レーザ装置 | 2017年 9月 7日 | |
再表 2016-79838 | 極端紫外光生成装置 | 2017年 8月31日 | |
再表 2016-72431 | 加振ユニットおよびターゲット供給装置 | 2017年 8月17日 | |
再表 2016-76279 | 狭帯域化レーザ装置、及び、狭帯域化モジュールを位置決めする方法 | 2017年 8月17日 | |
再表 2016-67343 | レーザ装置及び極端紫外光生成装置 | 2017年 8月10日 | |
再表 2016-63409 | 極端紫外光生成システム及び極端紫外光を生成する方法 | 2017年 8月 3日 | |
再表 2016-51518 | 光源システム、及びビーム伝送システム、並びに露光装置 | 2017年 7月13日 | |
再表 2016-46871 | レーザ装置 | 2017年 6月29日 | |
再表 2016-31019 | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 | 2017年 6月15日 | |
再表 2016-38657 | パルスレーザ光を極端紫外光チャンバに伝送する伝送システム及びレーザシステム | 2017年 6月15日 |
92 件中 16-30 件を表示
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2016-98193 2016-98237 2016-98543 2016-79810 2016-84167 2016-84755 2016-79838 2016-72431 2016-76279 2016-67343 2016-63409 2016-51518 2016-46871 2016-31019 2016-38657
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11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月29日(金) - 東京 港区
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月4日(水) -
12月4日(水) -
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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