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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1081位 25件 (2013年:第520位 74件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-235805 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法 | 2014年12月15日 | |
特開 2014-236121 | ミラー装置、極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム | 2014年12月15日 | |
特開 2014-225700 | ガス放電チャンバ | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-187140 | レーザ装置及び極端紫外光生成装置 | 2014年10月 2日 | |
特開 2014-187129 | 光学装置及びこれを用いたレーザチャンバ、並びにガスレーザ装置 | 2014年10月 2日 | |
特開 2014-186846 | ターゲット生成装置及び極端紫外光生成装置 | 2014年10月 2日 | |
特開 2014-175474 | 極端紫外光生成装置のチャンバ及び極端紫外光生成装置 | 2014年 9月22日 | |
特開 2014-164991 | ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-153170 | ターゲット供給装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154229 | ガスロック装置及び極端紫外光生成装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154616 | チャンバ及び極端紫外光生成装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-143150 | ターゲット供給装置およびEUV光生成チャンバ | 2014年 8月 7日 | |
特開 2014-102981 | ターゲット供給装置 | 2014年 6月 5日 | |
特開 2014-102980 | ターゲット供給装置 | 2014年 6月 5日 | |
特開 2014-96372 | 極端紫外光源装置 | 2014年 5月22日 |
25 件中 1-15 件を表示
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2014-235805 2014-236121 2014-225700 2014-187140 2014-187129 2014-186846 2014-175474 2014-164991 2014-153170 2014-154229 2014-154616 2014-143150 2014-102981 2014-102980 2014-96372
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10月4日(金) - 北海道 札幌市
10月4日(金) - 北海道 札幌市
10月7日(月) -
10月7日(月) - 大阪 大阪市
10月8日(火) - 東京 品川
10月8日(火) - 東京 中央区
10月9日(水) - 東京 港
10月9日(水) -
10月10日(木) - 東京 港
10月10日(木) -
10月11日(金) -
10月11日(金) - 兵庫 神戸市
10月11日(金) -
10月11日(金) -
10月7日(月) -
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