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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2014-235805	極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システムにおけるレーザシステムの制御方法	2014年12月15日
特開 2014-236121	ミラー装置、極端紫外光生成装置及び極端紫外光生成システム	2014年12月15日
特開 2014-225700	ガス放電チャンバ	2014年12月 4日
特開 2014-187140	レーザ装置及び極端紫外光生成装置	2014年10月 2日
特開 2014-187129	光学装置及びこれを用いたレーザチャンバ、並びにガスレーザ装置	2014年10月 2日
特開 2014-186846	ターゲット生成装置及び極端紫外光生成装置	2014年10月 2日
特開 2014-175474	極端紫外光生成装置のチャンバ及び極端紫外光生成装置	2014年 9月22日
特開 2014-164991	ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置	2014年 9月 8日
特開 2014-153170	ターゲット供給装置	2014年 8月25日
特開 2014-154229	ガスロック装置及び極端紫外光生成装置	2014年 8月25日
特開 2014-154616	チャンバ及び極端紫外光生成装置	2014年 8月25日
特開 2014-143150	ターゲット供給装置およびＥＵＶ光生成チャンバ	2014年 8月 7日
特開 2014-102981	ターゲット供給装置	2014年 6月 5日
特開 2014-102980	ターゲット供給装置	2014年 6月 5日
特開 2014-96372	極端紫外光源装置	2014年 5月22日

25 件中 1-15 件を表示

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2014-235805 2014-236121 2014-225700 2014-187140 2014-187129 2014-186846 2014-175474 2014-164991 2014-153170 2014-154229 2014-154616 2014-143150 2014-102981 2014-102980 2014-96372

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