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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
再表 2013-161760	レーザシステム及び極端紫外光生成システム	2015年12月24日
特開 2015-195216	極端紫外光生成装置および方法	2015年11月 5日
特開 2015-146329	ウィンドウユニット、ウィンドウ装置、レーザ装置及び極端紫外光生成装置	2015年 8月13日
特開 2015-144140	ターゲット供給装置、その制御システム、その制御装置およびその制御回路	2015年 8月 6日
特開 2015-133331	ターゲット供給装置、チャンバ装置および極端紫外光生成装置	2015年 7月23日
特開 2015-122313	チャンバ装置および極端紫外光生成装置	2015年 7月 2日
特開 2015-92517	極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法及びターゲット供給装置	2015年 5月14日
特開 2015-62202	極端紫外光源装置	2015年 4月 2日
特開 2015-53292	極端紫外光源装置及びそのターゲット供給システム	2015年 3月19日
特開 2015-53293	極端紫外光源装置及びチャンバ装置	2015年 3月19日
特開 2015-29116	極端紫外光源装置及び極端紫外光の発生方法	2015年 2月12日
特開 2015-26668	レーザシステム、極端紫外光生成及びレーザ装置の制御方法	2015年 2月 5日
特開 2015-18910	予備電離放電装置及びレーザ装置	2015年 1月29日
特開 2015-15251	極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体	2015年 1月22日

13 件中 1-14 件を表示

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2013-161760 2015-195216 2015-146329 2015-144140 2015-133331 2015-122313 2015-92517 2015-62202 2015-53292 2015-53293 2015-29116 2015-26668 2015-18910 2015-15251

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